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sp120 系列的可靠性和性能自 1989 年以来,一直深受行业客户的信赖。该系列除采用全焊接结构外,还采用了全不锈钢传感器。sp120 系列采用 wasco 专有的制造方法,消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的选择,精度高,公差小。我们为半导体设备等高纯度应用设计了这些开关。sp120 系列不含任何弹性体或 o 形圈。根据 semi f1 标准,所有开关的氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
为半导体设备等高纯度应用设计
不含任何弹性体或 o 形圈
符合semi f1 标准
经过氦气泄漏测试
氦气泄漏量 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
sp120-3 max系统压力:30 psig
sp120-5 max系统压力125 psig
sp120-8 max系统压力:250 psig
sp120-15 max系统压力:500 psig
可提供其他配置外螺纹端面密封和飞线
可提供其他配置外壳
可提供其他压力范围
产地:美国
max系统压力:30 psig
设定点范围:1 - 30 psig
设定点公差:± 0.7 psi
复位范围:0.7 - 2.3 psi
润湿元件接头:316l ss
膜片:17-7ph ss
使用寿命:≥ 1,000,000 次
防护等级:ip 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度:-65至 225 °f;-54 至 107 ℃
端面密封:1/4 " 外螺纹
外壳:9 针
气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备