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泄漏阀用于对从外部进入真空系统的气体流量进行可重复的准确控制。该系列泄漏阀是需要经济有效的精细和超精细气体入口控制的系统制造商的适配之选。lvm 系列在宽动态范围内具有良好的响应和可重复性。其设计几乎去除了滞后现象,而且内部体积小,可快速清理。lvm 阀门配备的超精细控制执行器可提高性能,从而提供高灵敏度。
手动全金属直角
入口压力高达 10 巴,提供高稳定性控制
控制机构,反向间隙小
可调刻度分度环
动态范围广
可提供各种安装法兰
用户可自行维修
304 l 不锈钢机身和马洛里密封垫
工作压力范围为 10 至 11 mbar
可烘烤至 450 ℃
提供电动选项
产地:英国
dn 类型:dn 19
轴向/径向法兰:fixed 34
进口管外径:6.4 mm
出口管外径:14 mm
max入口压力:10 bar
max工作范围:100 mbar
min工作范围:1x10-11 mbar
打开时传导率:0.1 l.s-1
泄漏率 关闭:1x10-12 mbar.l.s-1
开启烘烤温度:450 ℃
关闭烘烤温度:250 ℃
对从外部进入真空系统的气体流量进行可重复的准确控制